北京凯世通半导体有限公司

凯世通（万业企业旗下）的离子注入机研发实体，是国内少数掌握离子注入机整机技术的企业。离子注入是芯片制造的关键掺杂工艺，长期被应用材料、Axcelis 垄断。

代表性产品与技术

离子注入机

2024 年 12 月 2 日，BIS 将凯世通及关联实体列入实体清单，认定其设备支撑中国先进制程与军工配套芯片产线。限制其获取美国原产离子源、真空与控制部件，影响设备交付与迭代。

限制关键词

离子注入机半导体设备国产替代

• 2024 年 12 月 2 日列入
  实体清单

  Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）

  89 FR 96830

1. 联邦公报：Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）