南大光电半导体材料有限公司

南大光电旗下半导体材料企业，研制 ALD/CVD 前驱体、高纯电子特气与 ArF 光刻胶，是国内少数实现光刻胶量产的企业之一。

2024 年 12 月 2 日列入实体清单，美方认定其材料支撑中国先进制程芯片制造。

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电子特气光刻胶材料

• 2024 年 12 月 2 日列入
  实体清单

  Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）

  89 FR 96830

1. 联邦公报：Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）