东方晶源电子有限公司

国内半导体电子束检测与计算光刻（ILT）技术的领先企业，产品覆盖电子束缺陷检测、CD-SEM 与光刻掩模优化，是国产量检测与光刻软件的重要力量。

2024 年 12 月 2 日被列入实体清单，美方认定其检测与光刻软件支撑中国先进制程，限制其获取美国原产电子光学部件与算法授权。

限制关键词

电子束检测计算光刻量检测

• 2024 年 12 月 2 日列入
  实体清单

  Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）

  89 FR 96830

1. 联邦公报：Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）