中国电科第四十八研究所

中国半导体专用设备与传感器的重要研究所，研制离子注入机、光刻配套设备与 MEMS 传感器，是国内半导体装备国产化的重要力量。

代表性产品与技术

离子注入机 · MEMS 传感器

2023 年 2 月列入实体清单，美方认定其设备支撑中国军工芯片产线。限制其获取美国精密部件与控制系统。

限制关键词

半导体设备传感器研究所

• 2023 年 2 月 10 日列入
  实体清单

  Additions to the Entity List（88 FR 9389）

  88 FR 9389

1. 联邦公报：Additions to the Entity List（88 FR 9389）