华海清科股份有限公司

国内唯一实现 12 英寸 CMP（化学机械抛光）设备批量销售的企业，打破美国应用材料在该环节的垄断。CMP 是先进制程与先进封装（如混合键合、TSV）不可或缺的平坦化工艺，华海清科产品已覆盖 28nm 至 14nm 制程，并向更先进节点推进，同时布局减薄设备与清洗设备。

代表性产品与技术

12 英寸 CMP · 减薄设备 · 清洗设备

CMP 设备是先进制程与 3D 存储堆叠的关键装备，美方将华海清科列入实体清单，意在阻断其获取美国原产的抛光垫、研磨液、精密传动与控制部件，延缓国产 CMP 向先进节点突破。

限制关键词

CMP先进封装设备自主

关键耗材与部件进口受限，推动国产抛光材料配套验证。

• 2024 年 12 月 2 日列入
  实体清单

  BIS 将华海清科列入实体清单

  89 FR 96830

1. 联邦公报：Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）