上海智纯半导体设备有限公司

至纯科技（Pure Technology）体系的子公司，从事半导体高纯工艺系统、超纯水与特气化学品输送、精密制造与洁净室集成。至纯是国内晶圆厂高纯工艺系统的主要供应商之一，这批区域子公司覆盖上海、浙江等地，承担设备制造与工程交付。

2024 年 12 月 2 日，BIS 将至纯科技体系的多家实体一并列入实体清单，认定其高纯工艺系统支撑中国先进制程晶圆厂建设。

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高纯工艺半导体配套至纯科技

• 2024 年 12 月 2 日列入
  实体清单

  BIS 以半导体设备与先进节点为由列入实体清单（89 FR 96830）

  89 FR 96830

1. 联邦公报：Additions and Modifications to the Entity List（89 FR 96830）