沈阳芯源微电子设备股份有限公司

国内涂胶显影设备（Track）的独家供应商，打破东京电子在该环节的垄断。涂胶显影机与光刻机联机工作，是光刻工序的必需设备，技术难度高、验证周期长。芯源微产品覆盖前道晶圆加工（KrF/ArF）与后道先进封装、化合物半导体领域，是国内光刻工序国产化的重要一环。

代表性产品与技术

前道涂胶显影机 · 先进封装涂胶显影 · 清洗机

涂胶显影设备与光刻工艺直接绑定，美方将芯源微列入实体清单，限制其获取美国原产的精密涂胶泵、温控模块与控制软件，延缓国产 Track 设备向先进光刻工序的配套能力。

限制关键词

涂胶显影光刻配套设备自主

关键部件进口受限，加速国产部件验证与替代。

• 2024 年 12 月 2 日列入
  实体清单

  BIS 将芯源微列入实体清单

  89 FR 96830

1. 联邦公报：Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）